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スパッタリング材料（貴金属ターゲット）
スパッタリングに使用する円型・角型のターゲットを作製しております。
ボンディング加工、合金ターゲットの開発、各種形状でのご提供等、様々なご要望を承ります。
サイズについては、別途ご相談承ります。 |
貴金属ターゲット
円型ターゲット |
仕様例：
左 /Au φ320×7（㎜）
右 /Ag φ101.6×5（㎜）、ボンディング加工 |
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角型ターゲット |
仕様例：
左/ Ag 900×300×25（㎜）
右/ Au 260×150×6（㎜) |
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| サイズ |
円 型 |
任意 [ 最大 φ350×7（mm）]
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| 角 型 |
Au 任意 [ 最大500×150×7（mm）]
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| Ag 任意 [ 最大1500×300×35（mm）] |
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| 品 位 |
Au：4N, 5N Ag：4N
その他各種合金 |
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・ ピンホール、バリ、欠け等欠陥の無い高品質なターゲット
・ 治具取付用の溝加工・穴加工等、各種形状への機械加工が可能
・ ボンディング加工は、超音波探傷により高精度な接合を保証
・ 使用済みターゲットの回収と再加工も対応可能 |
ページ中の品位表記は、4N：99.99％、5N：99.999％、3N5：99.95％ を意味いたします。
記載している仕様数値は社内実績値です。この他の仕様についてもご相談承ります。
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