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本公司製造濺鍍用圓形與方形靶材。
提供接合加工(Bonding)、
開發合金靶材及製造各種形狀的靶材等來呼應客戶的需求。 |
樣品：
左/AuΦ320×7(mm)
右/AgΦ101.6×5(mm)，接合加工。
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樣品：
左/Ag900×300×25(mm)
右/Au260×150×6(mm)
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| 尺寸 |
圓形 |
依循客戶指定 [ 最大可達Φ350×7(mm)] |
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| 方形 |
金 依循客戶指定 [ 最大可達500×150×7(mm)] |
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| 銀 依循客戶指定 [ 最大可達1500×300×35(mm)] |
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| 純度 |
(金：4N、 5N 銀：4N)
以及其他各種合金 |
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• 高品質的靶材，無瑕疵如針孔、毛邊及缺陷等
• 可機械加工至各種客戶所需之形狀,如開槽加工與鑽孔加工等
• 接合加工將以超音波偵測缺點來保證高精度的接合
• 本公司接受使用後的靶材之回收與再度加工處理 |
記載中的規格數值為本公司的過去實際產品值。
其他規格與純度等級皆可商量。
另外，也能加工成線段、異形線、角線及片狀等各種規格。
本頁中標示的純度說明如右：4N：99.99%、5N：99.999%、3N5：99.95% |
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